正文

本發(fā)明所提供的標(biāo)準(zhǔn)漏孔,由于通孔的形狀標(biāo)準(zhǔn),尺寸及數(shù)目都可預(yù)定,且孔徑大小達(dá)納米級;因此可用真空科學(xué)的經(jīng)典理論計算直接得出其漏率值,其可自定標(biāo);且漏率范圍較寬,可實現(xiàn)超微小漏率的檢測;因此解決了現(xiàn)有技術(shù)中標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率必須借助其它設(shè)備對其進(jìn)行標(biāo)定,漏率范圍較窄等不足。

【權(quán)利要求】一種標(biāo)準(zhǔn)漏孔,其包括一被測氣體不可滲透的薄膜及形成于該薄膜內(nèi)預(yù)定數(shù)目的通孔;通孔具有預(yù)定尺寸孔徑